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沸石转轮rto设备的特性适合处理大风量、低浓度、含多种成分的废气。VOCs废气通过疏水性沸石转轮浓缩后，能被吸附于沸石中，达到净化废气的目的。经过沸石吸附后的废气，去掉废气中挥发性的物，净化后的废气直接通过烟囱排放到大气中，转轮持续以每小时1-6转的速度旋转，同时将吸附的挥发性物传送至脱附区。于脱附区中利用一小股加热气体将挥发性物进行脱附，吸附了物质的转轮在此区内脱附，吸附在转轮上的物被分离、脱附，脱附后的沸石转轮通过冷却区再次旋转至吸附区，持续吸附挥发性气体。脱附过程中产生的废气送至焚化炉进行燃烧转化成二氧化碳及水蒸气排放至大气中。沸石转轮rto采用吸附-脱附-浓缩焚化三项连续程序。
沸石吸附转轮组合为一中心轴承与轴承周围之支撑圆形框架支撑着转体，转体由沸石吸附介质与陶瓷纤维制成。转轮上包含用以分开处理废气及处理后释出干净气体之密封垫，其材质为需能承受VOCS腐蚀性及高操作温度之柔软材料制成(一般为硅)。密封垫将蜂巢状沸石吸附转轮组合隔离成基本之吸附区及循环脱附区，但为提升转轮之吸附处理能力，则常见于前二区间加一隔离冷却区。通常吸附区为大，而脱附区及冷却区则为两个小且面积相等之处理侧。有时为特别需求亦可分成愈多串联区；而吸附转轮由一组电动驱动设备用以旋转转轮，故转轮处理时为可变速、且可控制每小时旋转2至6转之能力。 沸石转轮主体为一个装满吸附剂的旋转轮，其被划分为3个区域，即吸附区、循环区和冷却区。废气经鼓风机引入吸附区，其中的污染物被吸附，气体得以净化排出。随后，吸附剂转动到再区，在与高温空气接触的过程中，VOCS被脱附下来并随循环空气流出，同时吸附剂获得循环。循环后的吸附剂先经过冷却区降温，然后转动到吸附区重新进行吸附。随着转轮的转动，吸附剂周期性地进行吸附、脱附和冷却，实现对废气的净化。
沸石转轮之处理单元如下：
1、沸石转轮的机体是由一些特定的固体基材涂布上一层吸附剂粉末组成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纤维经烧结所做成，其中陶瓷纤维因具备高温、热稳定性高、可水洗、不可燃及的特性而较受普遍使用，吸附剂的种类则视欲处理的气体成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。转轮厚度一般为25cm-45cm。
2、沸石转轮之基质为陶瓷纤维表面涂布一层吸附剂，一般为活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢状圆形转轮，再分为两个区域，分别为吸附处理区及循环脱附区，但为提升转轮之吸附能力，有时会设计于两区之间多一个冷却区，通常吸附区大，脱附区与冷却区为两个小且面积相等之处理区域。
3、热回收设备：将VOCs燃烧或氧化后之干净空气其温度高达500-700℃，将此部分空气经由热交换器将热能加以回收，同时将干净空气温度降低后将其导至转轮脱附区为转轮进行脱附作用；若温度太高则转轮可能发生燃烧，因此进入转轮之温度不可太高，一般会设置两段热回收设备并增设一鼓风机导入新鲜空气与燃烧后之空气混合，以控制脱附温度在180-220℃之范围内。为处理VOCs废气，除了沸石吸附浓缩转轮焚化系统外，并可在制程端如光阻涂布机台或去光阻制程废气出入口端加装冷凝器，预先分流处理高沸点VOCs（如MEA、BDG、DMSO）。
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